收錄非晶硅專利技術(shù)50項(xiàng) 1、半導(dǎo)體薄膜及其改性方法、評(píng)價(jià)方法和應(yīng)用 2、薄膜晶體管用非晶硅的結(jié)晶方法 3、采用晶態(tài)硅薄膜阻光層的液晶光閥及其制造方法 4、成膜裝置及其用它生產(chǎn)非晶硅化合物薄膜的方法 5、電阻加熱式單晶片腔室中的摻雜的硅沉積工藝 6、多層非晶硅的制造方法 7、多晶態(tài)硅膜的制造方法和制造裝置、以及半導(dǎo)體裝置及其制造方法 8、非晶硅(多晶硅)家用小型太陽(yáng)能發(fā)、用電裝置 9、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池制作裝置 10、非晶硅光電池片及其制造法 11、非晶硅光位置敏感器件 12、非晶硅結(jié)晶法 13、非晶硅晶化設(shè)備及方法 14、非晶硅靜電成象器 15、非晶硅太陽(yáng)電池背電極的刻蝕方法 16、非晶硅太陽(yáng)電池收音機(jī) 17、非晶硅太陽(yáng)電池診療儀 18、非晶硅太陽(yáng)能電池板筆記本電腦 19、非晶硅太陽(yáng)能電池夾膠玻璃組件 20、非晶態(tài)硅碳?xì)溻g化工藝 21、將非晶硅轉(zhuǎn)換為多晶硅的方法 22、具有帶球形凹痕的基底.非晶硅(鍺.錫)光敏層和非晶硅(氧.碳.氮)表面層的光接收元件 23、利用掩膜使非晶硅結(jié)晶的方法 24、內(nèi)聯(lián)疊層非晶硅光電池 25、內(nèi)聯(lián)式超薄弱光型非晶硅光電池生產(chǎn)線 26、內(nèi)聯(lián)式非晶硅太陽(yáng)能電池及制造方法 27、漂移型非晶硅光電陰極 28、氣載摻雜劑摻雜非晶硅方法 29、弱光型非晶硅太陽(yáng)能電池 30、使用非晶硅碳罩幕蝕刻鋁層的方法 31、外聯(lián)式非晶硅太陽(yáng)能電池 32、穩(wěn)定非晶硅及含穩(wěn)定非晶硅的器件 33、新型結(jié)構(gòu)的玻璃襯底內(nèi)連式弱光非晶硅電池 34、一種表盤(pán)應(yīng)用的非晶硅光電池 35、一種大面積沉積非晶硅的反應(yīng)盒 36、一種非晶硅標(biāo)準(zhǔn)太陽(yáng)電池 37、一種非晶硅光電池的制造方法 38、一種非晶硅太陽(yáng)能電池 39、一種非晶硅太陽(yáng)能電池的制造方法 40、一種結(jié)晶非晶硅的方法 41、一種內(nèi)聯(lián)弱光型非晶硅光電池 42、一種生長(zhǎng)非晶態(tài)硅的方法及所得的非晶態(tài)硅薄膜 43、一種特殊的非晶硅光電池 44、一種外聯(lián)非晶硅光電池 45、一種外聯(lián)集成式弱光型非晶硅光電池 46、一種外聯(lián)集成式弱光型非晶硅光電池 2 47、一種外聯(lián)弱光型非晶硅光電池 48、用于非晶態(tài)硅和形成的薄膜的化學(xué)氣相沉積法 49、與非邏輯非晶硅只讀存儲(chǔ)器及其制造方法 50、制造光電器件和其他半導(dǎo)體器件用的氫化非晶硅合金的沉積方法 |